| 发明名称 |
Method and apparatus for cathode sputtering using a cylindrical cathode |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3314873(A) |
申请公布日期 |
1967.04.18 |
| 申请号 |
US19620240599 |
申请日期 |
1962.11.28 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED |
发明人 |
LUNSFORD GUS |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/56;H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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