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发明名称
摘要
申请公布号	JP3496634(B2)	申请公布日期	2004.02.16
申请号	JP20000311602	申请日期	2000.10.12
申请人		发明人
分类号	C03C17/09;C23C14/06;C23C14/24;H01K1/32;H01K3/00;(IPC1-7):H01K3/00	主分类号	C03C17/09
代理机构		代理人
主权项
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