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发明名称
摘要
申请公布号 JP3497450(B2) 申请公布日期 2004.02.16
申请号 JP20000204592 申请日期 2000.07.06
申请人 发明人
分类号 C23C14/50;C23C16/46;F27B5/18;F27D19/00;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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