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发明名称
SUPERLATTICE NANOPATTERNING OF WIRES AND COMPLEX PATTERNS
摘要
申请公布号
AU2003269926(A1)
申请公布日期
2004.02.16
申请号
AU20030269926
申请日期
2003.07.28
申请人
THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA
发明人
JAMES, R. HEATH;NICHOLAS, A. MELOSH;PIERRE, M. PETROFF
分类号
B29C33/00;B32B5/02;G03F7/00;H01L;H01L21/033;H01L21/768;H01L21/8238
主分类号
B29C33/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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