| 发明名称 |
Superlattice nanopatterning of wires and complex patterns |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU2003269926(A8) |
申请公布日期 |
2004.02.16 |
| 申请号 |
AU20030269926 |
申请日期 |
2003.07.28 |
| 申请人 |
THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA |
发明人 |
PIERRE M. PETROFF;JAMES R. HEATH;NICHOLAS A. MELOSH |
| 分类号 |
B29C33/00;B32B5/02;G03F7/00;H01L;H01L21/033;H01L21/768;H01L21/8238;(IPC1-7):B29C33/00 |
主分类号 |
B29C33/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
