| 发明名称 |
SUBSTRATE PROCESSING CONTAINER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003248121(A1) |
申请公布日期 |
2004.02.16 |
| 申请号 |
AU20030248121 |
申请日期 |
2003.07.25 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
YASUHIRO CHOUNO;NORIHIRO ITOH |
| 分类号 |
H01L21/677;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/68;H01L21/027;B65G49/07 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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