| 发明名称 |
Sublimation system employing carrier gas |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003254266(A8) |
申请公布日期 |
2004.02.16 |
| 申请号 |
AU20030254266 |
申请日期 |
2003.07.29 |
| 申请人 |
ASM AMERICA, INC. |
发明人 |
MICHAEL E. GIVENS;ERIC J. SHERO;RYAN SCHMIDT |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/448 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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