首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
Reduced volume, high conductance process chamber
摘要
申请公布号
AU2003253689(A8)
申请公布日期
2004.02.16
申请号
AU20030253689
申请日期
2003.07.30
申请人
TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人
STEVEN T. FINK
分类号
C23C14/56;C23C16/44;H01J37/32;H01L21/00;(IPC1-7):C23C16/509;H01L21/306;C23F1/00;C23C16/50
主分类号
C23C14/56
代理机构
代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
PROTECTIVE CASING FOR OPTICAL INSTRUMENT
PARALLEL FREQUENCY COMPENSATOR IN VIDEO CASSETTE RECODER
COLLIER ATTACHES LUNETTES.
SUBSTITUERTE PYRIDIN-N-OKSYDER OG ANVENDELSER AV DEM
STROEMBEGRENSENDE ELEMENT
ANORDNING OG FREMGANGSMAATE FOR MONTERING AV EN VINKELFORMET UNION-SKJOET
SPACE DIVERSITY SYSTEM
VOICE COMMUNICATION EQUIPMENT
PORTABLE TELEPHONE SET CHARGER ON-VEHICLE
PLAYBACK APPARATUS
DRAGLINE BUCKET LINE PROTECTION DEVICE
DISPOSITIF DE CISAILLAGE SIMULTANE DE DEUX FLANS DE TOLE.
MANUFACTURE OF OXIDE SUPERCONDUCTIVE WIRE
OXIDE SUPERCONDUCTIVE WIRE AND MANUFACTURE THEREOF
ECHANGEUR DE CHALEUR A PLAQUES SOUDEES ET PROCEDE DE FABRICATION DE MODULES DE PLAQUES PERMETTANT L'OBTENTION DE TELS ECHANGEURS.
INSTALLATION DE CHAUFFAGE OU DE CLIMATISATION POUR VEHICULES.
Device for transmitting and/or for storing signals corresponding to one or more textures in an image, texture signals synthesis device for such a device
VERRE PORTANT UN REVETEMENT.
CONNECTEUR ELECTRIQUE DESTINE A RECEVOIR UN SUPPORT PLAT.
PROCESS FOR RAPID THAWING AND STORAGE OF FROZEN FLUOROCARBON EMULSION, AND RESULTANT PRODUCT
