| 发明名称 |
PRESSURE CONTROLLED DEGAS SYSTEM FOR HOT CATHODE IONIZATION PRESSURE GAUGES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003254153(A1) |
申请公布日期 |
2004.02.16 |
| 申请号 |
AU20030254153 |
申请日期 |
2003.07.25 |
| 申请人 |
MKS INSTRUMENTS, INC. |
发明人 |
NEIL, T. PEACOCK;STACY, W. WADE |
| 分类号 |
G01L21/32;(IPC1-7):G01L21/32 |
主分类号 |
G01L21/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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