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发明名称 Prcision machining stage equipment
摘要
申请公布号 AU2003252723(A8) 申请公布日期 2004.02.16
申请号 AU20030252723 申请日期 2003.07.30
申请人 JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY;JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY CORPORATION;TAMURA CORPORATION;KANO, YOSHIO 发明人 YOSHIO KANO;JUNICHI ONOZAKI
分类号 B23Q1/34;B23Q1/62;B23Q5/28;H02K41/03;(IPC1-7):H01L21/68;B23Q1/44;G12B5/00 主分类号 B23Q1/34
代理机构 代理人
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