| 发明名称 |
REAKTIVES GLEICHSTROM-ZERSTÄUBUNGSSYSTEM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AT258337(T) |
申请公布日期 |
2004.02.15 |
| 申请号 |
AT19940912385T |
申请日期 |
1994.04.01 |
| 申请人 |
ADVANCED ENERGY INDUSTRIES, INC. |
发明人 |
DRUMMOND, GEOFFREY, N. |
| 分类号 |
C23C16/50;B01J19/08;C23C14/34;C23C14/38;C23C16/509;H01J37/34;H01L21/31;H05H1/00;H05H1/24;H05H1/46;H05H1/48;(IPC1-7):H01J37/34 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
