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发明名称 Method of treating semiconductor device by ionic bombardment
摘要
申请公布号 US3328210(A) 申请公布日期 1967.06.27
申请号 US19640406449 申请日期 1964.10.26
申请人 NORTH AMERICAN AVIATION, INC. 发明人 MCCALDIN JAMES O.;WIDMER ALOIS E.
分类号 H01L21/3115;H01L29/51 主分类号 H01L21/3115
代理机构 代理人
主权项
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