Magnetsensoranordnung und ein Verfahren zu dessen Herstellung

摘要

Es wird eine Magnetsensoranordnung vorgeschlagen, die mit einer magnetfeldempfindlichen Sensorschicht (2) und einer Auswerteelektronik (4) zur Verarbeitung des an der Sensorschicht (2) abnehmbaren elektrischen Signals versehen ist. Die Sensorschicht (2) ist auf einer Seite eines Halbleitersubstrates (3) und die Auswerteelektronik als integrierter Schaltkreis (4) auf der anderen Seite des Halbleitersubstrates (3) herausgebildet. Der integrierte Schaltkreis (4) kann auf der anderen Seite des Halbleitersubstrates (3) an einer Leiterplatte (6) gehalten und dort mittels eines Leitklebers oder eines Lotes mit Leiterbahnen oder Kontakten (7) kontaktiert werden.