Esterverbindungen, Polymere, Photoresistcompositionen und Mustererzeugungsverfahren,申请号DE20016001695-传众专利搜索

发明名称	Esterverbindungen, Polymere, Photoresistcompositionen und Mustererzeugungsverfahren
摘要
申请公布号	DE60101695(D1)	申请公布日期	2004.02.12
申请号	DE20016001695	申请日期	2001.04.19
申请人	SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.	发明人	HASEGAWA, KOJI;NISHI, TSUNEHIRO;KINSHO, TAKESHI;WATANABE, TAKERU;NAKASHIMA, MUTSUO;TACHIBANA, SEIICHIRO;HATAKEYAMA, JUN
分类号	C07C69/013;C07C69/54;C07C69/753;C08F220/18;C08F222/06;C08F232/08;G03F7/004;G03F7/039;(IPC1-7):C07C69/54;C08F20/18	主分类号	C07C69/013
代理机构		代理人
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