发明名称 Verfahren zur Herstellung von flüssigen Gemischen für das chemisch-mechanische Polieren von Wafern
摘要
申请公布号 DE10010287(B4) 申请公布日期 2004.02.12
申请号 DE20001010287 申请日期 2000.02.25
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 MAYER, FRANZ
分类号 B01F5/10;B24B37/04;B24B57/02;(IPC1-7):B01F5/12;B01F3/04;H01L21/306;B01F5/04 主分类号 B01F5/10
代理机构 代理人
主权项
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