首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 KONTROLLVORRICHTUNGEN FÜR DIE DOSISÜBERWACHUNG IN IONENIMPLANTIERUNGSGERÄTE
摘要
申请公布号 DE69721029(T2) 申请公布日期 2004.02.12
申请号 DE19976021029T 申请日期 1997.02.14
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 BLAKE, G.;SFERLAZZO, PIERO;ROSE, H.;BRAILOVE, A.
分类号 H01J37/04;C23C14/48;H01J27/14;H01J37/08;H01J37/18;H01J37/30;H01J37/304;H01J37/317;H01L21/00;H01L21/265;H01L21/677;H01L21/683;(IPC1-7):H01J37/304 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com