| 主权项 |
1.一种用于制造具有基板之液晶显示器之光罩,该光罩包含:位于具有中央线之基板中央以让基板中央曝光之第一光罩图案;位于第一光罩图案左边以让基板左边曝光之第二光罩图案,第二光罩图案与第一光罩图案中间间隔为第一距离;及位于第一光罩图案右边以让基板右边曝光之第三光罩图案,第三光罩图案与第一光罩图案中间间隔为第二距离。2.如申请专利范围第1项之光罩,其中用于曝光之对准键被形成于第一光罩图案。3.如申请专利范围第2项之光罩,其中对准键包含一对位于光罩中央线的左右边而彼此以中央线互相对称之第一对准图案,一对位于第一对准图案右边而与第一对准图案中间间隔为第一距离之第二对准图案,及一对位于第一对准图案左边而与第一对准图案中间间隔为第二距离之第三对准图案。4.一种将液晶显示器基板曝光之方法,该方法包含步骤有:准备被分割成中央部分、左边部分及右边部分之基板;准备具有第一至第三光罩图案之光罩,第一光罩位于具有中央线之基板中央以让基板中央曝光,第二光罩图案位于第一光罩图案左边而与第一光罩图案左边中间间隔第一距离以让基板左边曝光,第三光罩图案位于第一光罩图案右边而与第一光罩图案右边中间间隔第二距离以让基板右边曝光;将光罩及基板彼此对准;且使用光罩对基板中央部分、左边部分及右边部分以个别方式进行曝光。5.如申请专利范围第4项之方法,其中第一对准键被形成于光罩的第一光罩图案,且第二对准键被形成于基板的中央部分,以致于第二对准键与第一对准键吻合。6.如申请专利范围第5项之方法,其中第一对准键包含一对位于光罩中央线左边及右边而以光罩中央线彼此对称之第一对准图案,一对位于第一对准图案右边而与第一对准图案中间间隔第一距离之第二对准图案,及一对位于第一对准图案左边而与第一对准图案中间间隔第二距离之第三对准图案。7.如申请专利范围第6项之方法,其中光罩与基板之对准是透过组合第一光罩图案第一对准键与基板第二对准键而完成,且使用第一光罩图案完成基板中央部分之曝光。8.如申请专利范围第7项之方法,其中使用光罩完成基板之曝光而以曝光装置之光遮断构件将除了第一光罩图案之外的光罩与基板遮断。9.如申请专利范围第6项之方法,其中光罩与基板之对准是透过组合第一光罩图案第一对准图案与基板第二对准图案而完成,且使用第二光罩图案完成基板左边部分之曝光。10.如申请专利范围第9项之方法,其中使用光罩完成基板之曝光而以曝光装置之光遮断构件将除了第二光罩图案之外的光罩与基板遮断。11.如申请专利范围第6项之方法,其中光罩与基板之对准是透过组合第一光罩图案第一对准图案与基板第三对准图案而完成,且使用第三光罩图案完成基板右边部分之曝光。12.如申请专利范围第11项之方法,其中使用光罩完成基板之曝光而以曝光装置之光遮断构件将除了第三光罩图案之外的光罩与基板遮断。图式简单说明:图1是液晶显示器之基板概要图;图2是根据本发明较佳实施例用于制造液晶显示器之光罩概要图;图3是与图2所显示光罩对准之液晶显示器基板概要图;且图4A至4C说明图3所显示基板曝光之步骤。 |
