静电电容式传感器

摘要

一种静电电容式传感器，具备被相对配置为相互不接触，且使两者的间隙相应于被检测量的变化而变化的第1电极(10a、20b、10c、30)和第2电极(20a、20b、20c、20d)，以及根据在这些第1和第2电极间形成的静电电容来计算上述被检测量的信号处理部分4，其特征是：第1电极具备因与第1电极平行的方向(x，y)上产生的定位误差而使与第2电极之间的相对面积增加的部分(12a、12b)和减少的部分(12b、14b)，这些部分具有相同的面积。

主权项

1.一种静电电容式传感器，具备：第1和第2电极，该二电极被相对配置为相互不接触，且使两者之间的间隙相应于被检测量的变化而变化；信号处理部分，分别连接到上述第1和第2电极上，且根据在上述第1和第2电极间形成的静电电容来计算上述被检测量，其特征是：根据当上述第1电极移动时在与上述第1电极平行的方向上产生的定位误差，上述第1电极具备相对于第2电极面积增加的部分和相对于第2电极面积减少的部分；所述面积增加的部分和所述面积减少的部分具有相等的面积，从而两电极的相对面积保持不变。