有源矩阵衬底、光电装置、电子设备

摘要

提供了通过采用场反向驱动而能够谋求显示品质提高的液晶装置等中使用的一种有源矩阵衬底。本发明的有源矩阵衬底，具有多条数据线6a以及多条扫描线3a、与这些数据线6a、扫描线3a电连接的多个TFT元件30、以及分别电连接至TFT元件30的象素电极9。这样，构成TFT元件30的栅极电极35和扫描线3a，在由不同的层构成的同时，还通过栅极接触孔22而电连接，构成扫描线3a的层位于构成数据线6a的层的上层，且位于构成象素电极9的层的下层，扫描线3a的图案和数据线6a的图案以及象素电极9的图案在平面上部分重叠。

主权项

1.一种有源矩阵衬底，在衬底主体上具有：相互交错设置的多条数据线以及多条扫描线；与这些数据线和扫描线电连接的多个薄膜晶体管；分别与所述多个薄膜晶体管电连接的多个象素电极；其特征在于：组成所述薄膜晶体管的栅极电极和所述扫描线在不同的层上构成，同时，通过贯穿所述栅极电极和所述扫描线间的层间绝缘膜的接触孔而电连接；构成所述扫描线的层，位于比构成所述数据线的层还要上层的一侧，且位于比构成所述象素电极的层还要下层的一侧，所述扫描线的图案、所述数据线的图案以及所述象素电极的图案在水平面上部分重合。