微位移测量装置以及位移过程转换成电信号的方法

摘要

本发明涉及微位移测量领域，可以用于记录自然、人工起源的蠕变和动态内过程，例如，地震过程、次声和重力波。本发明的目的是在宽的动态范围内提高测量灵敏度。微位移测量装置包括测量元件(2)和敏感元件(1)，膜(10)，信号调节器(6)，其输出连接到固定电磁铁(4)的线圈。根据本发明，该装置还具有与测量元件(2)相互作用的拉动电磁铁(5)，拉动电磁铁(5)的线圈连接到信号调节器(6)的第二反输出。拉动电磁铁优选地位于膜(10)上，以增大可测量的位移范围。另外，由装置外壳(11)与膜(10)形成的密封空间，能防止测量元件(2)和敏感元件(1)的工作表面上形成氧化物或类似的膜。在所述装置中具体实施将位移转换成电信号的方法，此方法包括将电场发射电流作为一个特性，并据此进行量化。所述的方法允许被记录的位移在单位埃的范围内。

主权项

1.一种微位移测量装置，包括信号条件测量和敏感元件，与测量元件连接的膜，以及其线圈连接信号调节器的输出的固定电磁铁，其特征在于该装置还具有与测量元件相互作用的拉动电磁铁，并且拉动电磁铁的线圈与信号调节器的第二输出连接，信号调节器的第二输出与连接到固定电磁铁线圈的输出反相。