空气流控制装置以及采用该装置的洁净室

摘要

提供一种空气流控制装置及一种洁净室。气流控制装置具有一个高效颗粒过滤器、一个具有底面中心孔的外盖，以及一个流向控制器，该控制器具有一根穿透所述孔的轴，并位于颗粒过滤器和外盖之间。洁净室具有安装在一个进口内的上述气流控制装置。因此，由于被引入一个需要预定净度水平的场所(例如一个洁净室)的气流广阔地被分散，洁净室内部的温差减小，并且相对湿度成为最佳。从而也能降低洁净室的静电水平。

主权项

1.一种空气流控制装置，它具有一个高效颗粒过滤器以及一个用于所述高效过滤器的外盖，并包括：用来控制气流方向的装置，它具有一根位于所述颗粒过滤器和所述外盖之间的轴，其特征为：被所述轴穿过的一个孔位于所述外盖底面的中心；所述控制气流方向的装置包括：一块与所述轴相连的方板，以及多块可折叠叶片，每块所述叶片与所述方板的一条侧边相连。