用于检测气体的传感器及其制作方法

摘要

本发明涉及用于检测气体的传感器及制作方法。它包括：衬底、在衬底的一面上有一层金刚石膜/纳米金刚石膜；在其上的两边各设置一条形金属电极，测量引线连接在其上；在衬底的另一面制作一金属加热电阻，加热电阻的测量引线连接在加热电阻两端的。该制作方法包括首先制作加热电阻；在金属加热电阻的两端用压焊测量引线；在衬底材料的另一面的金刚石膜是采用热灯丝化学气相沉积方法制备的，含有微米/亚微米晶粒的金刚石膜是在传统的研磨或偏压成核的衬底上，利用甲烷和氢气在高温下反应而合成的；再将测量引线分别连接在每一条形金属电极上。该传感器具有高选择性，高灵敏度，快速的响应与恢复的良好的一致性，及耐高温和抗辐射；同时具有工艺简单。

主权项

1.一种用于检测气体的传感器，包括：衬底、在衬底的一个面上有一层金刚石膜/纳米金刚石膜；其特征在于：在金刚石膜/纳米金刚石膜上的两边各设置一条形金属电极，Au丝测量引线连接在其上；在衬底的另一面制作一金属加热电阻，加热电阻的测量引线连接在加热电阻两端的。