| 发明名称 | 等离子体沉积镀膜系统的废气过滤装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种等离子体沉积镀膜系统的废气过滤装置包括：一级过滤装置和二级过滤装置；所述的一级过滤装置的作用是过滤废气中颗粒较大的异物，所述的二级过滤装置的作用是过滤废气中颗粒特别细小的异物。本发明的有益效果是：结构简单，对废气进行二级过滤，在一级过滤装置中，颗粒较大的异物已被过滤掉，进入二级过滤装置进行二级过滤的废气中只混有颗粒特别细小的异物，因此有效地防止了颗粒较大的异物对滤芯的阻塞，延长了滤芯的使用寿命，提高了等离子体沉积镀膜系统的生产效率。 | ||
| 申请公布号 | CN1473953A | 申请公布日期 | 2004.02.11 |
| 申请号 | CN02129132.2 | 申请日期 | 2002.08.19 |
| 申请人 | 乐金电子(天津)电器有限公司 | 发明人 | 吴定根;郑永万;尹东植 |
| 分类号 | C23C16/00;B01D36/02 | 主分类号 | C23C16/00 |
| 代理机构 | 天津才智专利商标代理有限公司 | 代理人 | 甄洪庆 |
| 主权项 | 1.一种等离子体沉积镀膜系统的废气过滤装置，其特征在于：包括一级过滤装置(110)和二级过滤装置(220)；所述的一级过滤装置(110)的作用是过滤废气中颗粒较大的异物，所述的二级过滤装置(220)的作用是过滤废气中颗粒特别细小的异物。 | ||
| 地址 | 300402天津市北辰区兴淀公路 | ||