发明名称 Procédé de diffusion planar
摘要
申请公布号 FR1490476(A) 申请公布日期 1967.08.04
申请号 FR19650038088 申请日期 1965.11.12
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人
分类号 C23C16/40;H01L21/00;H01L23/29;H01L29/00 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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