| 发明名称 |
A method of forming a barrier layer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2357371(B) |
申请公布日期 |
2004.02.11 |
| 申请号 |
GB19990026114 |
申请日期 |
1999.11.04 |
| 申请人 |
* TRIKON HOLDINGS LIMITED |
发明人 |
PAUL * RICH |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/34;H01L21/203;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/283 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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