Test mask for determining best focus,申请号GB20020029785-传众专利搜索

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发明名称	Test mask for determining best focus
摘要
申请公布号	GB2391634(A)	申请公布日期	2004.02.11
申请号	GB20020029785	申请日期	2002.12.20
申请人	* NANYA TECHNOLOGY CORPORATION	发明人	YUAN-HSUN * WU
分类号	G02B7/28;G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20	主分类号	G02B7/28
代理机构		代理人
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