化合物气体喷射系统和方法

摘要

一汽相沉积系统的反应装置，它包括导向反应管出口的反应室和导向护套出口的护套。反应管出口和护套出口位于反应装置的远侧端，该远侧端包括化合物喷嘴。反应装置能产生用于喷向目标基片的化合物气体流。化合物气体流包括反应剂气体流和护套气体流，其中护套气体流至少部分地包围着反应剂气体流。还公开了产生和供送化合物气体流和进行汽相沉积的方法。

主权项

1.一种向基片供送反应剂气体用于在基片上进行汽相沉积材料的方法，它包括步骤：向基片喷射反应剂气体流，其中反应剂气体流是至少部分地包围在惰性的护套气体流内，其中反应剂气体包括一种周期表第III族元素的氯化物。