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发明名称
IN-SITU FORMATION OF METAL INSULATOR METAL CAPACITORS CROSS REFERENCE TO RELATED APPLICATIONS
摘要
申请公布号
AU2003259151(A1)
申请公布日期
2004.02.09
申请号
AU20030259151
申请日期
2003.07.18
申请人
ASML US, INC.
发明人
SENZAKI YOSHIHIDE
分类号
H01L27/04;C23C16/30;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/455;H01L21/02;H01L21/285;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/822
主分类号
H01L27/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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