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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING UNIFORM PROCESSING RATES
摘要
申请公布号 AU2003256565(A1) 申请公布日期 2004.02.09
申请号 AU20030256565 申请日期 2003.07.17
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 MARK, HENRY WILCOXSON;ANDREW, D., III BAILEY;ARTHUR, M. HOWALD;ANDREAS KUTHI
分类号 H05H1/46;H01J37/32;H01L21/3065;H01Q1/26;H01Q7/00;H01Q11/12;H01Q21/29;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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