| 发明名称 |
VAPORIZER FOR THIN FILM DEPOSITION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003281548(A1) |
申请公布日期 |
2004.02.09 |
| 申请号 |
AU20030281548 |
申请日期 |
2003.07.14 |
| 申请人 |
IPS LTD. |
发明人 |
BYUNG-CHUL CHO;KEUN-JAE YOO;SANG-KYU LEE;HYUN-SOO KYUNG |
| 分类号 |
C23C16/448;(IPC1-7):C23C16/455 |
主分类号 |
C23C16/448 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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