ZIRCONIUM COMPLEX USED FOR THE CVD METHOD AND PREPARATION METHOD OF A THIN FILM USING THEREOF,申请号AU20030253257-传众专利搜索

发明名称	ZIRCONIUM COMPLEX USED FOR THE CVD METHOD AND PREPARATION METHOD OF A THIN FILM USING THEREOF
摘要
申请公布号	AU2003253257(A1)	申请公布日期	2004.02.09
申请号	AU20030253257	申请日期	2003.07.18
申请人	SAES GETTERS S.P.A.	发明人	YODA KOUJI;TASAKI YUZO
分类号	C07C49/92;C07F7/00;C23C16/00;C23C16/40;(IPC1-7):C23C16/00	主分类号	C07C49/92
代理机构		代理人
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