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发明名称 ION BEAM SOURCE WITH COATED ELECTRODE(S)
摘要
申请公布号 AU2003265283(A1) 申请公布日期 2004.02.09
申请号 AU20030265283 申请日期 2003.07.21
申请人 GUARDIAN INDUSTRIES CORP. 发明人 VIJAYSEN, S. VEERASAMY;RUDOLPH, HUGO PETRMICHL;HENRY, A., III LUTEN
分类号 B05D5/12;C23C14/34;H01J37/08;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 B05D5/12
代理机构 代理人
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