| 发明名称 |
Mit Strahlen geladener Teilchen arbeitende Anwendungen |
| 摘要 |
Es wird eine teilchenoptische Vorrichtung vorgeschlagen, welche zum Ablenken mehrerer separater strahlengeladener Teilchen eine teilchenoptische Linse umfaßt, die durch eine Mehrzahl von entlang einer Öffnung der Linse vorgesehenen Fingerelektroden bereitgestellt ist.
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| 申请公布号 |
DE10232689(A1) |
申请公布日期 |
2004.02.05 |
| 申请号 |
DE20021032689 |
申请日期 |
2002.07.18 |
| 申请人 |
LEO ELEKTRONENMIKROSKOPIE GMBH |
发明人 |
KIENZLE, OLIVER;KNIPPELMEYER, RAINER |
| 分类号 |
G03F7/20;G01N23/00;G01Q10/00;G01Q30/02;G02B21/06;G21K1/08;G21K7/00;H01J29/70;H01J37/04;H01J37/12;H01J37/14;H01J37/141;H01J37/145;H01J37/147;H01J37/244;H01J37/26;H01J37/28;H01J37/30;H01J37/305;H01L21/027;(IPC1-7):G02B21/06 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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