Abtastbelichtungsapparat, Belichtungsverfahren unter Verwendung desselben und Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung,申请号DE19966031260-传众专利搜索

发明名称	Abtastbelichtungsapparat, Belichtungsverfahren unter Verwendung desselben und Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung
摘要
申请公布号	DE69631260(D1)	申请公布日期	2004.02.05
申请号	DE19966031260	申请日期	1996.07.23
申请人	CANON K.K., TOKIO/TOKYO	发明人	MURAKAMI, EIICHI;SAKAI, FUMIO;UZAWA, SHIGEYUKI;OGAWA, SHIGEKI;MORI, TETSUYA
分类号	G03F7/20;G03F9/00;(IPC1-7):G03F7/20	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
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