Vorrichtung und Verfahren zur Überwachung eines elektrolytischen Prozesses

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Überwachung eines elektrolytischen Prozesses. Bei der Herstellung von integrierten Schaltungen besteht das Problem, dass sich bei der elektrolytischen Metallabscheidung leicht Hohlräume bilden können. Um diese die Funktionsfähigkeit der Schaltungen beeinträchtigenden Fehler zu vermeiden, wird vorgeschlagen, in der mindestens eine Anode und mindestens eine Kathode enthaltenden Elektrolysevorrichtung mindestens eine Bezugselektrode an der Oberfläche der mindestens einen Anode oder mindestens einen Kathode anzuordnen, wobei jeweils ein Spannungsmessgerät zur Ermittlung der elektrischen Spannungen zwischen der mindestens einen Anode und der mindestens einen Bezugselektrode und zwischen der mindestens einen Bezugselektrode und der mindestens einen Kathode vorgesehen ist.