划线装置

摘要

本发明提供一种适用于对大张脆性材料底板进行划线的划线装置。将激光振荡器(3)、光学系统组件(4)、弯曲反射镜(5)、冷却喷头(6)和起动机构(7)等在脆性材料底板上形成划线轮廓所必需的全部结构成一体地安装在支持台(2)上。由此，在划线装置(1)中，在使划线轮廓的形成中所必需的各个构件相对于脆性材料底板(S)的表面移动时，也能防止加热区域和和冷却区域的形成位置发生变动。因此能保持稳定的划线轮廓的形成，能确保经形成划线轮廓之后所实施的断开工序而截断的脆性材料底板S的稳定的截断面质量。

主权项

1.一种划线装置，包括：在脆性材料底板上形成加热区域的加热机构、在接近这个加热区域的位置上形成冷却区域的冷却机构和形成作为划线轮廓开始点的切缝的切缝形成机构，通过该加热区域和冷却区域之间发生的应力梯度形成从上述切缝进展的垂直裂缝连续的划线轮廓，其特征在于，设有将上述加热机构、冷却机构和切缝形成机构固定成一体的固定机构；由上述固定机构固定的加热机构、冷却机构和切缝形成机构与上述脆性材料底板是相互以规定的相对速度、相对地保持一定位置关系而移动的。