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发明名称 GAS DISCHARGE LASER WITH IMPROVED BEAM PATH
摘要
申请公布号 EP1386377(A1) 申请公布日期 2004.02.04
申请号 EP20020769660 申请日期 2002.04.17
申请人 CYMER, INC. 发明人 PARTLO, WILLIAM, N.;SANDSTROM, RICHARD, L.;GLATZEL, HOLGER, K.;CYBULSKI, RAY, F.;NEWMAN, PETER, C.;HOWEY, JAMES, K.;HULBURD, WILLIAM;MELCHIOR, JOHN, T.;IVASCHENKO, ALEX, P.
分类号 H01S3/22;G03F7/20;H01S3/00;H01S3/034;H01S3/036;H01S3/038;H01S3/04;H01S3/041;H01S3/08;H01S3/097;H01S3/0971;H01S3/0975;H01S3/102;H01S3/104;H01S3/105;H01S3/1055;H01S3/11;H01S3/13;H01S3/134;H01S3/139;H01S3/223;H01S3/225;H01S3/23;(IPC1-7):H01S3/22 主分类号 H01S3/22
代理机构 代理人
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