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发明名称 FBAR thin-film resonator with protective layer
摘要
申请公布号 GB2391408(A) 申请公布日期 2004.02.04
申请号 GB20030015092 申请日期 2003.06.27
申请人 * AGILENT TECHNOLOGIES, INC.;* AGILENT TECHNOLOGIES, INC. 发明人 PAUL D * BRADLEY;YURY * OSHMYANSKY;RICHARD C * RUBY
分类号 H01L41/09;H01L41/08;H01L41/187;H03H3/02;H03H9/02;H03H9/17;H03H9/54;(IPC1-7):H03H3/02 主分类号 H01L41/09
代理机构 代理人
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