发明名称 全氟化产物的纯化方法
摘要 本发明公开了含有含有小于约10ppm(摩尔)以下杂质(例如四氟甲烷(PFC-14))的三氟化氮(NF<SUB>3</SUB>)。公开了使用夹带剂的共沸与萃取蒸馏方法,该方法用于将NF<SUB>3</SUB>和PFC-14彼此分离和从含其他电子工业材料的混合物中分离。
申请公布号 CN1137043C 申请公布日期 2004.02.04
申请号 CN98810964.6 申请日期 1998.11.10
申请人 纳幕尔杜邦公司 发明人 B·A·马勒;R·N·米勒;C·-P·C·考
分类号 C01B21/083 主分类号 C01B21/083
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 卢新华;王其灏
主权项 1、一种将四氟甲烷与三氟化氮分离的方法,该方法包括在有夹带剂存在下蒸馏含三氟化氮和四氟甲烷的混合物。
地址 美国特拉华州威尔明顿