发明名称 | 全氟化产物的纯化方法 | ||
摘要 | 本发明公开了含有含有小于约10ppm(摩尔)以下杂质(例如四氟甲烷(PFC-14))的三氟化氮(NF<SUB>3</SUB>)。公开了使用夹带剂的共沸与萃取蒸馏方法,该方法用于将NF<SUB>3</SUB>和PFC-14彼此分离和从含其他电子工业材料的混合物中分离。 | ||
申请公布号 | CN1137043C | 申请公布日期 | 2004.02.04 |
申请号 | CN98810964.6 | 申请日期 | 1998.11.10 |
申请人 | 纳幕尔杜邦公司 | 发明人 | B·A·马勒;R·N·米勒;C·-P·C·考 |
分类号 | C01B21/083 | 主分类号 | C01B21/083 |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 卢新华;王其灏 |
主权项 | 1、一种将四氟甲烷与三氟化氮分离的方法,该方法包括在有夹带剂存在下蒸馏含三氟化氮和四氟甲烷的混合物。 | ||
地址 | 美国特拉华州威尔明顿 |