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发明名称 METHOD OF WET ETCHING AN INORGANIC ANTIREFLECTION LAYER
摘要
申请公布号 EP1386350(A1) 申请公布日期 2004.02.04
申请号 EP20020724538 申请日期 2002.04.18
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 KNOTTER, DIRK, M.;VAN WINGERDEN, JOHANNES;ROVERS, MADELON, G., J.
分类号 C23F1/24;C09K13/04;C09K13/08;G03F7/09;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/28;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/311 主分类号 C23F1/24
代理机构 代理人
主权项
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