影像感测器微透镜组、影像感测器及其制造方法

摘要

一种影像感测器微透镜组、影像感测器及其制造方法。为提供一种提高影像解析度、成像感光效率高、确保光二极体区域光敏感度的影像感测器组件、影像感测器及其制造方法，提出本发明，微透镜组包括彩色滤光片、微凸透镜及第一介电层及微凹透镜；第一介电层顶、底表面为与彩色滤光片接触的平面及曲率与微凹透镜曲率相同并接触的凸面；影像感测器包括基底、形成于基底上的内连线结构、设置于内连线结构上的微透镜组及设置于内连线结构下并形成于基底内的光二极体；制造方法包括提供形成光二极体的基底、多层内连线结构、保护层、具有开口的光阻图案层、蚀刻保护层形成微凹透镜、移除罩幕层后依序形成第一介电层、彩色滤光片及微凸透镜。

主权项

1、一种影像感测器微透镜组，它包括彩色滤光片、设置于彩色滤光片上用以聚集入射光的微凸透镜及设置于彩色滤光片下的第一介电层；其特征在于所述的第一介电层下设有微凹透镜；第一介电层与彩色滤光片接触的顶表面为平面，其底表面为曲率与微凹透镜曲率相同并接触的凸面。