液体喷出头及喷出头的制造方法

摘要

本发明提供一种可以达到液滴的喷出速度高速化，液滴的喷出量稳定化，而且能够提高液滴的喷出效率的液体喷出头及其制造方法。液体喷出头1具备加热器20、设置有加热器20的元件基板11、具有用于喷出液滴的喷出口26a的喷出口部26、具有发泡室和用于向发泡室供给液体的供给流路的喷嘴27、具有用于向喷嘴27供给液体的供给室28的喷出孔基板12；发泡室包括第1发泡室31a及其上面的第2发泡室32b，在发泡室附近设置有台阶高差部构成的控制部33。

主权项

1.一种液体喷出头，它具备：用于产生为了喷出液滴所需能量的喷出能量发生元件；在主面上设置有上述喷出能量发生元件的元件基板；具有用于喷出液滴的喷出口的喷出口部，具有借助于上述喷出能量发生元件而在内部液体中产生气泡的发泡室以及用于向上述发泡室供给液体的供给流路的喷嘴，用于向喷嘴供给液体的供给室，和与上述元件基板的主面接合的喷出孔基板；其特征在于：上述发泡室包括第1发泡室和第2发泡室，其中，上述第1发泡室以上述元件基板的主面作为底平面并与上述供给流路相连通，而且借助于上述喷出能量发生元件的作用而在第1发泡室内部的液体中产生气泡；上述第2发泡室与上述第1发泡室连通并且与上述喷出口部连通，按照与上述基板垂直的方向，上述第2发泡室下平面的中心轴与上平面的中心轴一致，而且第2发泡室相对于其中心轴的上平面的截面积比下平面的截面积小，并且从上述第2发泡室的下平面至上平面，沿中心轴方向的截面积连续地变化；而且，上述第2发泡室相对于其中心轴的上平面的截面积比上述喷出口部相对于其中心轴的截面积大。