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发明名称 Method and apparatus for dechucking a workpiece from an electrostatic chuck
摘要
申请公布号 EP1118425(A3) 申请公布日期 2004.02.04
申请号 EP20010300467 申请日期 2001.01.19
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 LESSER, KARL F.
分类号 H01L21/302;B23Q3/154;H01L21/265;H01L21/3065;H01L21/683;H02N13/00;(IPC1-7):H01L21/68;H01L21/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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