| 发明名称 |
Thermal processing system and configurable vertical chamber |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003259104(A8) |
申请公布日期 |
2004.02.02 |
| 申请号 |
AU20030259104 |
申请日期 |
2003.07.10 |
| 申请人 |
ASML US, INC. |
发明人 |
CRAIG WILDMAN;TAIQUING QIU;JEFFREY M. KOWALSKI;DALE R. DUBOIS;JAMIE H. NAM |
| 分类号 |
H01L21/22;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/46;C23C16/54;F27B5/14;F27B5/18;F27D11/02;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/324;H01L21/677;H05B3/00;H05B3/06;H05B3/66;(IPC1-7):F27B5/14;F26B3/30;C23F1/02;C23C16/00;F26B19/00;F27D11/00 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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