| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE, PRODUCTION METHOD AND PRODUCTION DEVICE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003281112(A1) |
申请公布日期 |
2004.02.02 |
| 申请号 |
AU20030281112 |
申请日期 |
2003.07.16 |
| 申请人 |
NEC CORPORATION |
发明人 |
SHINJI FUJIEDA;HEIJI WATANABE;HIROHITO WATANABE;TORU TATSUMI |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L29/51;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/316;H01L21/336 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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