发明名称 VACUUM SPUTTERING CATHODE
摘要
申请公布号 AU2003273424(A1) 申请公布日期 2004.02.02
申请号 AU20030273424 申请日期 2003.07.08
申请人 TECMACHINE 发明人 MICHEL AULAGNER;LIONEL LABALME
分类号 C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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