| 发明名称 |
Test system and methodology |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003263747(A8) |
申请公布日期 |
2004.02.02 |
| 申请号 |
AU20030263747 |
申请日期 |
2003.06.17 |
| 申请人 |
CREDENCE SYSTEMS CORPORATION |
发明人 |
THOMAS P. HO;FRANK M. SAUK;GARY A. WELLS |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R31/28;G01R31/302;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/02 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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