| 发明名称 | 电浆处理装置及其控制方法 | ||
| 摘要 | 本发明之一种频率控制电路(45)系基于相位差感测器(41)所测量之电压成分及电流成分之间的相位差，以及基于阻抗感测器(42)所测量之阻抗整合器(34)的输入阻抗，于第2高频电源51控制振荡频率。振幅控制电路(44)系基于电力感测器(40)所测量之阻抗整合器(34)似被供应电力(有效电力)，控制第2高频电源(51)输出之高频电力的大小。 | ||
| 申请公布号 | TW200402252 | 申请公布日期 | 2004.02.01 |
| 申请号 | TW091136134 | 申请日期 | 2002.12.13 |
| 申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 东浦 勉 |
| 分类号 | H05H1/46 | 主分类号 | H05H1/46 |
| 代理机构 | 代理人 | 陈长文 | |
| 主权项 | |||
| 地址 | 日本 | ||