| 摘要 |
不拘装置之视野区域内被测标记之定位地点，均能以良好的再现性检测被测标记相对于基板上原点的位置。本发明之标记位置检测装置，系具备：照明对象基板之照明机构(13～19)；摄影机构(19～24)，拍摄来自对象基板之反射光的像并输出影像讯号；测定机构25，根据使用反射特性已知之基准基板作为对象基板时从摄影机构取得之第1影像讯号，来测定该检测装置之固定图案杂讯；记忆固定图案杂讯之记忆机构26；及算出机构25，根据使用形成有被测标记之被测基板11作为对象基板时从摄影机构取得之第2影像讯号、及记忆于记忆机构之固定图案杂讯，来算出被测标记之位置。 |
