发明名称 多层环境之阻障涂层及其制造方法
摘要 一挠性基体上之一多层阻障涂层系提供抗气体及液体渗透的改良阻力。该多层阻障涂层一般包含交替聚合物以及无机层,而且紧邻该挠性基体之该层及该最高隔离层皆可为无机层。每一被沉积的无机层之该表面可于沉积该聚合物层于其上之前做电浆处理,而该些聚合物层之该些表面通常是不做电浆处理。该多层阻障涂层的重量轻,以呈透明为较佳,且具有改善的挠性及弹性并具有抗裂解与抗分层之阻力。
申请公布号 TW200402156 申请公布日期 2004.02.01
申请号 TW092109894 申请日期 2003.04.28
申请人 维泰克系统有限公司 发明人 高东李葛拉夫;马克爱德华葛洛斯;温蒂D 伯奈特;麦可金贺尔;彼得麦克林马丁;艾瑞克席德尼马斯特;约翰克里斯帕勾诺;妮可路塞福特;马克R 朱霍夫
分类号 H01L51/00 主分类号 H01L51/00
代理机构 代理人 何金涂;李明宜
主权项
地址 美国